检测范围                          1000*700*500 mm
重复精度                          0.001 mm

检测范围                       400*300*200 mm
检测精度                       0.001 mm

解析度                             <180ev
探测器                             高性能高分辨Si-Pin x探测器

试验力                              1471N

测量范围                          20~88

误差范围                          ±1.5

测量长度                             1000mm

平行方向精度                      ≤10μm

垂直方向精度                      ≤8μm

测量范围                        0.005~16μm

分辨率                            0.001μm

示值误差                         ≤±10%

误差                           ±4μm

分辨率                       0.01mm